@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032734,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 赤道, 孝之 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 原, 弘一 and 吉野, 彰一郎 and 脇元, 聡},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {14--14},
 title = {プリント配線基板用レチクルフリー露光システムの性能評価},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and アカミチ, タカユキ and コサカ, コウジ and ハラ, コウイチ and ワキモト, サトシ}
}