@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032735, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 居村, 史人 and Imura, Fumito and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 江頭, 義也}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {15--15}, title = {Nano-Surgery System by Ultra-Precision Semiconductor Technology}, volume = {36}, year = {2003}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and イムラ, フミト and コサカ, コウジ and エガシラ, ヨシヤ} }