@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032737,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 居村, 史人 and Imura, Fumito and 板倉, 敬二郎 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 江頭, 義也 and 万, 化},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {16--16},
 title = {半導体電気計測用ナノプロービングシステムの開発},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and イムラ, フミト and イタクラ, ケイジロウ and コサカ, コウジ and エガシラ, ヨシヤ and マン, カ}
}