@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032740,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 羽山, 隆史 and 苑田, 忠靖},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {17--17},
 title = {膜厚ムラ検査装置の開発 : 連続角度画像を利用した膜厚測定法},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ハヤマ, タカフミ}
}