@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032741,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 赤道, 孝之 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 松岡, 真二},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {17--17},
 title = {液晶ディスプレイを用いたレチクルフリー露光システムの開発 : 低コスト且つQTATリソグラフィプロセスの開発},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and アカミチ, タカユキ and コサカ, コウジ}
}