@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032743,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 森川, 晃次 and 坂本, 賢太郎},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {18--18},
 title = {スピンフリー塗布方法におけるレジスト膜厚プロファイルの最適化},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and モリカワ, コウジ}
}