@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032804,
 author = {久保田, 弘 and 中田, 明良 and 林, 直毅},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {Mar},
 pages = {11--11},
 title = {イオンビームスパッタリング法と窒素イオン照射を用いた窒化タングステン膜の成膜},
 volume = {35},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ハヤシ, ナオキ}
}