@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032812,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 森川, 晃次 and 中村, 一光 and 高坂, 憲史},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {Mar},
 pages = {16--16},
 title = {HL-700型可変成形電子ビーム露光装置におけるスポットビーム形成},
 volume = {35},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and モリカワ, コウジ}
}