@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032817,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 遠藤, 泰史 and Endo, Taishi and 橘口, 弘幸 and 江頭, 義也 and 永本, 恵市 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 岩渕, 哲也},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {Mar},
 pages = {21--21},
 title = {非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第５報) 与圧機構の開発},
 volume = {35},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and エンドウ, タイシ and エガシラ, ヨシヤ and コサカ, コウジ}
}