@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032843, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 遠藤, 泰史 and Endo, Taishi and 古川, 博之 and 小磯, 公房 and 原田, 崇 and 江頭, 義也 and 永本, 恵市 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {Mar}, pages = {19--19}, title = {高速超精密ステージ用非共振型超音波モータの開発 : 与圧機構とステージ駆動性能}, volume = {35}, year = {2003}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and エンドウ, タイシ and エガシラ, ヨシヤ and コサカ, コウジ} }