WEKO3
アイテム
Surface nitridation of W-Ti absorber toward highly reliable PXL-mask
http://hdl.handle.net/2298/00044464
http://hdl.handle.net/2298/00044464052168aa-cd55-487d-845e-597e629a22da
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0033_010_33-19 (850.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-12-10 | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Surface nitridation of W-Ti absorber toward highly reliable PXL-mask | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 林, 直毅
× 丸本, 健二
× 矢部, 秀毅
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 33, p. 10-10, 発行年 2001-03-24 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
