WEKO3
アイテム
"TaNのCu拡散防止性能の結晶方位依存性"
http://hdl.handle.net/2298/00044635
http://hdl.handle.net/2298/00044635c024dd87-3f03-40d9-a5e2-57467d6ede81
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2021-12-23 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | "TaNのCu拡散防止性能の結晶方位依存性" | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | TaN ノ Cu カクサン ボウシ セイノウ ノ ケッショウ ホウイ イゾンセイ | |||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 31, p. 26-26, 発行年 1999-03-25 |
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| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||
| NCID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||