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アイテム
"TaNのCu拡散防止性能の結晶方位依存性"
http://hdl.handle.net/2298/00044635
http://hdl.handle.net/2298/00044635c024dd87-3f03-40d9-a5e2-57467d6ede81
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0031_026_31-49 (184.7 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-12-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | "TaNのCu拡散防止性能の結晶方位依存性" | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 31, p. 26-26, 発行年 1999-03-25 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | TaN ノ Cu カクサン ボウシ セイノウ ノ ケッショウ ホウイ イゾンセイ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
