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EFFECTS OF RF BIAS ON CUBIC BN FILM SYNTHESIS BY PULSED ND-YAG LASER DEPOSITION Article(Refs:9)
http://hdl.handle.net/2298/00044759
http://hdl.handle.net/2298/00044759d544883d-fa5e-4809-ae18-52b000207039
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0029_021_29-39 (199.7 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2022-01-06 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | EFFECTS OF RF BIAS ON CUBIC BN FILM SYNTHESIS BY PULSED ND-YAG LASER DEPOSITION Article(Refs:9) | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
| 著者 |
蛯原, 健治
× 蛯原, 健治
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| 書誌情報 |
ja : 熊本大学工学研究機器センター報告 巻 29, p. 21-21, 発行年 1997-03-19 |
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| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||
| NCID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 収録物識別子 | AN00066753 | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学研究機器センター | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
