WEKO3
アイテム
スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究
http://hdl.handle.net/2298/11218
http://hdl.handle.net/2298/112186f008132-c8dd-49ff-a4e6-889ff93f7c22
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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24-0377.pdf (9.8 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2014-12-02 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | スピンコーティング ニ オケル カイテン エンバンジョウ ノ サンジゲン キョウカイソウ ナガレ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Study on three dimensional boundary layer flow over the rotation disk surface in a spin coating | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題 | 半導体製造, レーザードップラ流速計(LDV), 遷移渦, 熱線流速系(HWA), 気流トレーサ法 キャッチカップ |
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| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||||||
| 著者 |
木村, 誠一
× 木村, 誠一
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| 内容記述 | ||||||||||||
| 内容記述 | 本研究の目的は、スピンコーティングにおける様々なパラメータが、回転円板上の気流に及ぼす影響を実験により把握し、スピンコーティングによる高精度な薄膜形成技術に貢献することを目的とする。 | |||||||||||
| 書誌情報 |
発行年 2008-03-25 |
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| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題 | 428.8 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題 | 377.5 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 学位名 | ||||||||||||
| 学位名 | 博士（工学）(ja) | |||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||
| 学位授与機関名 | 熊本大学 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2008-03-25 | |||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第377号 | |||||||||||
| 学位番号 | ||||||||||||
| 値 | 甲博工第377号 | |||||||||||
