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アイテム
スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究
http://hdl.handle.net/2298/11218
http://hdl.handle.net/2298/112186f008132-c8dd-49ff-a4e6-889ff93f7c22
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
24-0377.pdf (9.8 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-12-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スピンコーティングにおける回転円板上の三次元境界層流れに関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | 半導体製造, レーザードップラ流速計(LDV), キャッチカップ, 遷移渦, 熱線流速系(HWA), 気流トレーサ法 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
木村, 誠一
× 木村, 誠一 |
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| 別言語の著者 |
木村, 誠一
× 木村, 誠一 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述 | 本研究の目的は、スピンコーティングにおける様々なパラメータが、回転円板上の気流に及ぼす影響を実験により把握し、スピンコーティングによる高精度な薄膜形成技術に貢献することを目的とする。 | |||||
| 書誌情報 | 発行年 2008-03-25 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 9761024 bytes | ||||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題 | 428.8 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題 | 377.5 | |||||
| その他の言語のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study on three dimensional boundary layer flow over the rotation disk surface in a spin coating | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | スピンコーティング ニ オケル カイテン エンバンジョウ ノ サンジゲン キョウカイソウ ナガレ ニ カンスル ケンキュウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述 | 学位論文(Thesis) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 博士論文 | ||||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| Thesis or Dissertation | ||||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| text | ||||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 03 | ||||||
| 学位番号 | ||||||
| 甲博工第377号 | ||||||
