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2. 半導体パルスパワー電源のプラズマ応用機器への適用(<小特集>半導体パルスパワー電源の現状と今後〜プラズマ研究をささえる半導体パワーデバイス〜)
http://hdl.handle.net/2298/20290
http://hdl.handle.net/2298/20290d6d6dfc1-4ef7-4587-86e1-22994a0fa271
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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110006282109.pdf (537.6 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2011-07-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 2. 半導体パルスパワー電源のプラズマ応用機器への適用(<小特集>半導体パルスパワー電源の現状と今後〜プラズマ研究をささえる半導体パワーデバイス〜) | |||||
| 言語 | ja | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ハンドウタイ パルス パワー デンゲン ノ プラズマ オウヨウ キキ エノ テキヨウ : ショウトクシュウ ハンドウタイ パルス パワー デンゲン ノ ゲンジョウ ト コンゴ プラズマ ケンキュウ オ ササエル ハンドウタイ パワー デバイス | |||||
| 言語 | ja-Kana | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 2. Application of All Solid-State Pulsed Power Generators to Equipment Using Plasmas(<Special Topic Article>Present and Future of Semiconductor Pulsed Power Generator : Role of Power Semiconductor Devices in Plasma Research) | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | semiconductor switch, magnetic switch, magnetic pulse compressor, water discharge, extreme ultraviolet | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
佐久川, 貴志
× 佐久川, 貴志× 浪平, 隆男× 勝木, 淳× 秋山, 秀典× 長田, 俊宏× 小金澤, 竹久 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述 | Recently, high-repetition-rate all-solid-state pulsed power generators with long lifetime and high reliability, have been developed for industrial applications with plasmas, such as high-repetition-rate pulsed gas lasers, high energy density plasma (EUV sources) and water discharges. Nowadays, power semiconductor device technology can improve the performance of fast and high-power switching devices. In practical systems, however, semiconductor switches are used with the assistance of magnetic switches because the semiconductor switches are not capable of driving the usual generators by themselves. These generators consist of semiconductor switches, step-up pulse transformers and magnetic switches. Progress of all-solid-state pulsed power generators is reviewed with particular emphasis on industrial applications with plasmas. | |||||
| 書誌情報 |
ja : プラズマ・核融合学会誌 巻 81, 号 5, p. 350-354, 発行年 2005-05-25 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0918-7928 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10401672 | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1585/jspf.81.350 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 社団法人プラズマ・核融合学会 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 427.5 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 社団法人プラズマ・核融合学会 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| URL | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110006282109 | |||||
| コメント | ||||||
| ja | ||||||
| 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである | ||||||
