WEKO3
アイテム
Arbitrary pattern fabrication with a LCD reticle-free exposure method
http://hdl.handle.net/2298/00044297
http://hdl.handle.net/2298/0004429757d23c8a-002b-4c4e-a6da-3b031edd1c38
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0036_020_36-38 (660.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-11-25 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Arbitrary pattern fabrication with a LCD reticle-free exposure method | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 赤道, 孝之
× 小坂, 光二
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 36, p. 20-20, 発行年 2003 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
