WEKO3
アイテム
Spot Beam Formation Method by HL-700 VSB Lithography System
http://hdl.handle.net/2298/00044306
http://hdl.handle.net/2298/00044306e9c0d855-c87b-4def-9402-986dba6ef0b2
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0036_025_36-46 (232.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-11-26 | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Spot Beam Formation Method by HL-700 VSB Lithography System | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 森川, 晃次
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 36, p. 25-25, 発行年 2003 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
