WEKO3
アイテム
多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究
http://hdl.handle.net/2298/429
http://hdl.handle.net/2298/429f84a228c-d610-425e-811b-5928dcfd9771
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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24-0164.pdf (3.9 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-12-04 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | タケッショウ シリコン ハクマク テイコウ ニ タイスル ガイブ カンキョウ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | A study of influence due to the external evironments on electrical performance in polycrystalline silicon thin film resistors | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||||||
| 著者 |
中林, 正和
× 中林, 正和
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| 書誌情報 |
発行年 2002-03-22 |
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| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題 | 377.5 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 学位名 | ||||||||||||
| 学位名 | 博士（工学）(ja) | |||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||
| 学位授与機関名 | 熊本大学 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2002-03-22 | |||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第164号 | |||||||||||
| 学位番号 | ||||||||||||
| 値 | 甲博工第164号 | |||||||||||
