WEKO3
アイテム
QTAT（短工期）オンライン電子回路パターニング技術開発
http://hdl.handle.net/2298/2720
http://hdl.handle.net/2298/272066a2a516-ee02-4a09-aa03-b07e9dce2d09
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
24-0256.pdf (15.9 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-12-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | QTAT（短工期）オンライン電子回路パターニング技術開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | リソグラフィ技術, レチクルフリー露光技術, アライメント技術 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
若杉, 雄彦
× 若杉, 雄彦 |
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| 書誌情報 | 発行年 2005-03-25 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 値 | 15912051 bytes | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題 | 377.5 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | QATA タンコウキ オンライン デンシ カイロ パターニング ギジュツ カイハツ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述 | 学位論文(Thesis) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 博士論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Thesis or Dissertation | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 03 | |||||
| 学位番号 | ||||||
| 値 | 甲博工第256号 | |||||
