WEKO3
アイテム
QTAT（短工期）オンライン電子回路パターニング技術開発
http://hdl.handle.net/2298/2720
http://hdl.handle.net/2298/272066a2a516-ee02-4a09-aa03-b07e9dce2d09
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
24-0256.pdf (15.9 MB)
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| アイテムタイプ | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-12-01 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | QTAT（短工期）オンライン電子回路パターニング技術開発 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | QATA タンコウキ オンライン デンシ カイロ パターニング ギジュツ カイハツ | |||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題 | リソグラフィ技術, レチクルフリー露光技術, アライメント技術 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 著者 |
若杉, 雄彦
× 若杉, 雄彦
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| 書誌情報 |
発行年 2005-03-25 |
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| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||
| 主題 | 377.5 | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学）(ja) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関名 | 熊本大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2005-03-25 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第256号 | |||||||
| 学位番号 | ||||||||
| 値 | 甲博工第256号 | |||||||
