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アイテム
塩ビ定盤上の固定砥粒のクッション性を活用した超薄型化加工(OS 材料加工・精密加工(その2))
http://hdl.handle.net/2298/13680
http://hdl.handle.net/2298/13680e03b9375-cdd4-4fb2-81ba-c846aa11b2b7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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110007113182.pdf (359.3 kB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2010-01-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 塩ビ定盤上の固定砥粒のクッション性を活用した超薄型化加工(OS 材料加工・精密加工(その2)) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
峠, 睦
× 峠, 睦× 渡邉, 純二× 中村, 銀河 |
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| 別言語の著者 |
峠, 睦
× 峠, 睦× 渡邉, 純二 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 水晶やニオブ酸リチウムなどの誘電体は基板の共振周波数や感度が板厚に逆比例して増加するため、性能向上を目指した超薄型化加工技術が注目されている。超薄型化加工はラッピングなどの砥粒加工により行われるが、基板外周部に端面だれやクラックが発生すると、そこから破損するため超薄型化加工は実現できない。そのため、本研究では定盤の機械的性質や硬さ、また変形能（クッション性）の大きさから判断して塩化ビニール樹脂をポリッシャに選定した。その結果、基板平面度は0.9μm以内であり、だれやクラックの発生はほとんど認められなかった。これは定盤上に固定化された固定砥粒が軟らかく基板に作用したためであり、AFMを用いた加工面性状の詳細な観察により確認した。この塩ビ定盤を用いたポリシングにおける被削材除去機構について報告する。 | |||||
| 書誌情報 |
日本機械学会九州支部講演論文集 巻 2007, p. 119-120, 発行年 2007-10-12 |
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| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN0036066X | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 社団法人 日本機械学会 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 値 | 359308 bytes | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 530 | |||||
| その他の言語のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Ultra-Thinning Process Utilizing Soft Characteristic of Grains Fixed on Polyvinyl Chloride Resin | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | エンビ テイバンジョウ ノ コテイ トリュウ ノ クッションセイ オ カツヨウシタ チョウウスガタカ カコウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 社団法人 日本機械学会 | |||||
| 別言語の出版者 | ||||||
| 値 | The Japan Society of Mchanical Engineerse | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 雑誌掲載論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Journal Article | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 01 | |||||
| URL | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110007113182@@@http://www.jsme.or.jp/ | |||||
| コメント | ||||||
| 値 | 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである | |||||
