WEKO3
アイテム
回転加速度がウェーハ上の遷移渦の初生に与える影響(流体工学,流体機械)
http://hdl.handle.net/2298/17432
http://hdl.handle.net/2298/17432bce16ee0-4281-4671-b844-ad27f4a93fb0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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110006873936.pdf (644.9 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-12-27 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 回転加速度がウェーハ上の遷移渦の初生に与える影響(流体工学,流体機械) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Boundary Layer, Flow Instability, Flow Visualization, Transition, Transient Vortices, Spin Coating | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
木村, 誠一
× 木村, 誠一× 吉川, 浩行× 宗像, 瑞恵× 栗島, 啓聡× 山本, 壮平× 大庭, 英樹 |
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| 別言語の著者 |
木村, 誠一
× 木村, 誠一× 吉川, 浩行× 宗像, 瑞恵× Kurishima, Hiroaki× 山本, 壮平× 大庭, 英樹 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | The purpose of this study is to make clear the effect of the spin-up acceleration on the boundary layer over the rotating wafer surface. In this paper, onset and breakdown of transient vortices are investigated because transient vortices interfere with the formation of uniform thin film. The air flow fields on the wafer surface are measured by a hot wire anemometer. The onset of transient vortices over the rotating wafer is detected by the spectra of the tangential fluctuating velocity. It is found that transient vortices appear at higher Reynolds number in the case of higher spin-up acceleration of the wafer. On the other hand, transient vortices break down at a certain Reynolds number and the transition of the boundary layer to the turbulent state is independent of the spin up acceleration. | |||||
| 書誌情報 |
日本機械学會論文集. B編 巻 74, 号 744, p. 1735-1740, 発行年 2008-08-25 |
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| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00187441 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 社団法人 日本機械学会 | |||||
| 情報源(ISSN) | ||||||
| 関連名称 | 03875016 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 値 | 644863 bytes | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 530 | |||||
| その他の言語のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Effect of Spin-up Acceleration on Onset of Transient Vortices over Rotating Wafer(Fluids Engineering) | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | カイテン カソクド ガ ウェーハジョウ ノ センイウズ ノ ショセイ ニ アタエル エイキョウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 社団法人 日本機械学会 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 雑誌掲載論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Journal Article | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 01 | |||||
| URL | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110006873936 | |||||
