WEKO3
アイテム
大口径化に対応したSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究
http://hdl.handle.net/2298/28869
http://hdl.handle.net/2298/2886984f9f309-e737-4d61-98c0-4fc920de7c78
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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SGK0025_023-024.pdf (923.4 kB)
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| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2013-10-03 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 大口径化に対応したSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ダイコウケイ カ ニ タイオウ シタ SiC キバン ノ シガイコウ シエン ケンマ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Study on ultraviolet-ray assisted polishing of SiC sub strate corresponding to large-diameter | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | SiC, ultraprecission machining, ultraviolet-ray irradiation, XPS | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | conference presentation | |||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
坂本, 武司
× 坂本, 武司
× 稲木, 匠
× 小田, 和明
× 峠, 睦
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| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 平成25年度熊本大学総合技術研究会 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| bibliographic_information |
ja : 熊本大学総合技術研究会発表要旨 巻 2013, p. 23-24, 発行日 2013-09-20 |
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| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
