WEKO3
アイテム
マグネトロンスパッタ装置の試作とその活用
http://hdl.handle.net/2298/30435
http://hdl.handle.net/2298/30435328b62db-d10d-487f-9c71-b6d09610f391
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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TR2013_146-147.pdf (634.3 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-06-20 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | マグネトロンスパッタ装置の試作とその活用 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
山室, 賢輝
× 山室, 賢輝× 伊東, 孝史× 松田, 樹也× 志田, 賢二× 津志田, 雅之 |
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| 別言語の著者 |
Yamamuro, Takateru
× Yamamuro, Takateru× Ito, Takashi× Matsuda, Mikiya× Shida, Kenji× Tsushida, Masayuki |
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| 書誌情報 |
熊本大学工学部技術部年次報告集 巻 2013, p. 146-147, 発行年 2014-06-02 |
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| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA12358619 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 値 | 634255 bytes | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | マグネトロン スパッタ ソウチ ノ シサク ト ソノ カツヨウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部技術部 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 紀要論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Departmental Bulletin Paper | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 02 | |||||
| URL | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | http://www.tech.eng.kumamoto-u.ac.jp/work/nenpou/2013_techreport.pdf | |||||
| コメント | ||||||
| 値 | 第8章 研究成果, 8-7 | |||||
