WEKO3
アイテム
レチクルフリー露光装置を用いた伸縮基板対応アライメント方式の開発
http://hdl.handle.net/2298/00043903
http://hdl.handle.net/2298/0004390314d0379e-b5e6-49a6-afbb-71680c93ac90
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0046_46-7 (475.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-09-08 | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | レチクルフリー露光装置を用いた伸縮基板対応アライメント方式の開発 | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | レチクルフリー ロコウ ソウチ オ モチイタ シンシュク キバン タイオウ アライメント ホウシキ ノ カイハツ | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 横山, 聡
× 刀根, 輝徳
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 46, p. 7-7, 発行年 2014 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||
