WEKO3
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フォトリソグラフィを用いた変調SiO2基板上へのグラフェン成膜とその特性評価に関する研究
http://hdl.handle.net/2298/00043908
http://hdl.handle.net/2298/0004390854e67296-68ab-4520-841d-b22465f5bd27
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0046_46-11 (497.8 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-09-09 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | フォトリソグラフィを用いた変調SiO2基板上へのグラフェン成膜とその特性評価に関する研究 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | フォトリソグラフィ オ モチイタ ヘンチョウ SiO2 キバンジョウ エノ グラフェン セイマク ト ソノ トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 西口, 博樹
× 刀根, 輝徳
× 松川, 誠也
× 吉岡 , 昌雄
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 46, p. 11-11, 発行年 2014 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
