WEKO3
アイテム
パルス光伝導法による22nm世代以降に向けたゲート絶縁膜インライン評価手法の提案
http://hdl.handle.net/2298/00044014
http://hdl.handle.net/2298/000440145f5c6ab9-0f92-4238-9095-36c0a3234bb0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0042_42-29 (155.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-09-28 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | パルス光伝導法による22nm世代以降に向けたゲート絶縁膜インライン評価手法の提案 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | パルスコウ デンドウホウ ニヨル 22nm セダイ イコウ ニ ムケタ ゲート ゼツエンマク インライン ヒョウカ シュホウ ノ テイアン | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 松村, 康志
× 木村, 慶祐
× 吉岡 , 昌雄
× 平野, 利政
× 濱口, 誠治
× 岩田, 洋輔
× 那須, 淳一
× 塩津, 啓介
× 宗, 勇樹
× 西, 優弥
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 42, p. 29-29, 発行年 2010 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
