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新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第１報) : 平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響
http://hdl.handle.net/2298/00044068
http://hdl.handle.net/2298/0004406805d63082-b4f0-46f2-ad9f-f9d3cef80a6b
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0040_40-16 (84.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-10-19 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第１報) : 平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
安井, 平司
× 安井, 平司× 山本, 雄記× 坂本, 竜司郎 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 40, p. 16-16, 発行年 2008 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
