WEKO3
アイテム
スリップフリー駆動を用いた高速圧電アクチュエータのステージ駆動性能評価
http://hdl.handle.net/2298/00044155
http://hdl.handle.net/2298/00044155a2bdee2a-cdd7-4e50-989d-2de4a77b3b30
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2021-10-29 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | スリップフリー駆動を用いた高速圧電アクチュエータのステージ駆動性能評価 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 吉岡 , 昌雄× 徳満, 拓郎× 遠藤, 泰史× 近藤, 裕樹× 小坂, 光二 |
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書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 39, p. 50-50, 発行年 2007 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子 | 0289694X | |||||
NCID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AA11333838 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 507 | |||||
タイトル(ヨミ) | ||||||
その他のタイトル | スリップ フリー クドウ オ モチイタ コウソク アツデン アクチュエータ ノ ステージ クドウ セイノウ ヒョウカ | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター |