WEKO3
アイテム
微細デバイス計測のための微小電極プローブに関する研究
http://hdl.handle.net/2298/00044184
http://hdl.handle.net/2298/000441844cd7cceb-2895-45ce-bcb1-ae60f56f2fb5
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2021-11-09 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 微細デバイス計測のための微小電極プローブに関する研究 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 板倉, 敬二郎× 美野田, 敏寛 |
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書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 38, p. 22-22, 発行年 2006 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子 | 0289694X | |||||
NCID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AA11333838 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 507 | |||||
タイトル(ヨミ) | ||||||
その他のタイトル | ビサイ デバイス ケイソク ノ タメ ノ ビショウ デンキョク プローブ ニ カンスル ケンキュウ | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター |