WEKO3
アイテム
大型FPD対応膜厚ムラ検査装置に関する研究
http://hdl.handle.net/2298/00044190
http://hdl.handle.net/2298/000441905f5de14f-5525-400b-aafb-6ddeb61cac1f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0038_033_38-33 (376.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-11-09 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 大型FPD対応膜厚ムラ検査装置に関する研究 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | オオガタ FPD タイオウ マクアツ ムラ ケンサ ソウチ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田 , 弘
× 久保田 , 弘
× 中田, 明良
× 江口 , 雅典
× 齊藤, 茂樹
× 新庄, 信博
× 羽山, 隆史
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 38, p. 33-33, 発行年 2006 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
