WEKO3
アイテム
QTATを実現するレチクルフリー露光技術と超精密検査技術
http://hdl.handle.net/2298/00044239
http://hdl.handle.net/2298/000442392b3a86f9-204e-4cb0-b713-48bdce15058d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0037_013_37-18 (11.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-11-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | QTATを実現するレチクルフリー露光技術と超精密検査技術 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 若杉, 雄彦× 小坂, 光二× 赤道, 孝之× 板倉, 敬二郎× 脇元, 聡 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 37, p. 13-13, 発行年 2005 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | QTAT オ ジツゲン スル レチクルフリー ロコウ ギジュツ ト チョウセイミツ ケンサ ギジュツ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
