WEKO3
アイテム
ナノプローブシステムを用いた微細配線直接プロービング計測
http://hdl.handle.net/2298/00044246
http://hdl.handle.net/2298/00044246403fc262-fcfb-4718-84aa-44432d9ac396
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0037_018_37-26 (11.3 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-11-18 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ナノプローブシステムを用いた微細配線直接プロービング計測 | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ナノプローブ システム オ モチイタ ビサイ ハイセン チョクセツ プロービング ケイソク | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 板倉, 敬二郎
× 石川, 康之
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 37, p. 18-18, 発行年 2005 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||
