WEKO3
アイテム
サブ0.1ミクロン加工のための誘導結合型プラズマ特性の評価
http://hdl.handle.net/2298/00044274
http://hdl.handle.net/2298/000442745e5540a1-48ca-40c2-8e12-635f1c2dbecc
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KKC0036_009_36-16 (266.0 kB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2021-11-25 | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | サブ0.1ミクロン加工のための誘導結合型プラズマ特性の評価 | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | サブ 0.1ミクロン カコウ ノ タメ ノ ユウドウ ケツゴウガタ プラズマ トクセイ ノ ヒョウカ | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 木原, 健雄
× 森川, 晃次
× 森, 康雄
|
|||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 36, p. 9-9, 発行年 2003 |
|||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
