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  1. 工学
  2. 紀要論文(工学系)
  1. 掲載誌一覧
  2. 工学研究機器センター報告
  3. Vol.36

サブ0.1ミクロン加工のための誘導結合型プラズマ特性の評価

http://hdl.handle.net/2298/00044274
http://hdl.handle.net/2298/00044274
5e5540a1-48ca-40c2-8e12-635f1c2dbecc
名前 / ファイル ライセンス アクション
KKC0036_009_36-16.pdf KKC0036_009_36-16 (266.0 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2021-11-25
タイトル
タイトル サブ0.1ミクロン加工のための誘導結合型プラズマ特性の評価
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 久保田, 弘

× 久保田, 弘

WEKO 165831

ja 久保田, 弘
ISNI

ja-Kana クボタ, ヒロシ

en Kubota, Hiroshi

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中田, 明良

× 中田, 明良

WEKO 166234

中田, 明良

ja-Kana ナカダ, アキラ

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木原, 健雄

× 木原, 健雄

WEKO 166578

木原, 健雄

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森川, 晃次

× 森川, 晃次

WEKO 166403

森川, 晃次

ja-Kana モリカワ, コウジ

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森, 康雄

× 森, 康雄

WEKO 166579

森, 康雄

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書誌情報 工学研究機器センター報告

巻 36, p. 9-9, 発行年 2003
ISSN
収録物識別子 0289694X
NCID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA11333838
著者版フラグ
出版タイプ VoR
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 507
タイトル(ヨミ)
その他のタイトル サブ 0.1ミクロン カコウ ノ タメ ノ ユウドウ ケツゴウガタ プラズマ トクセイ ノ ヒョウカ
出版者
出版者 熊本大学工学部附属工学研究機器センター
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Ver.1 2023-06-19 12:07:26.688436
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