WEKO3
アイテム
拡散防止膜用窒化タングステン超薄膜形成プロセスの開発
http://hdl.handle.net/2298/00044281
http://hdl.handle.net/2298/00044281f5445036-3b68-4870-af99-6c82eaf5de2a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0036_012_36-23 (234.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-11-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 拡散防止膜用窒化タングステン超薄膜形成プロセスの開発 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 若杉, 雄彦× 林, 直毅× 田中, 秀幸 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 36, p. 12-12, 発行年 2003 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | カクサン ボウシ マクヨウ チッカ タングステン チョウハクマク ケイセイ プロセス ノ カイハツ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
