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アイテム
プリント配線基板用レチクルフリー露光システムの性能評価
http://hdl.handle.net/2298/00044286
http://hdl.handle.net/2298/000442862ae149fa-0a74-4e19-a0f5-689ba1504184
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0036_014_36-27 (139.0 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-11-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | プリント配線基板用レチクルフリー露光システムの性能評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 赤道, 孝之× 小坂, 光二× 原, 弘一× 吉野, 彰一郎× 脇元, 聡 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 36, p. 14-14, 発行年 2003 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | プリント ハイセン キバンヨウ レチクルフリー ロコウ システム ノ セイノウ ヒョウカ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
