| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2021-11-25 |
| タイトル |
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タイトル |
膜厚ムラ検査装置の開発 : 連続角度画像を利用した膜厚測定法 |
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言語 |
ja |
| タイトル |
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タイトル |
マクアツ ムラ ケンサ ソウチ ノ カイハツ : レンゾク カクド ガゾウ オ リヨウ シタ マクアツ ソクテイホウ |
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言語 |
ja-Kana |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 著者 |
久保田, 弘
中田, 明良
羽山, 隆史
苑田, 忠靖
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告
巻 36,
p. 17-17,
発行年 2003
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| ISSN |
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収録物識別子 |
0289-694X |
| NCID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA11333838 |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 日本十進分類法 |
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主題Scheme |
NDC |
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主題 |
507 |
| 出版者 |
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出版者 |
熊本大学工学部附属工学研究機器センター |
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言語 |
ja |