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  1. 工学
  2. 紀要論文(工学系)
  1. 掲載誌一覧
  2. 工学研究機器センター報告
  3. Vol.36

膜厚ムラ検査装置の開発 : 連続角度画像を利用した膜厚測定法

http://hdl.handle.net/2298/00044291
http://hdl.handle.net/2298/00044291
170ca380-7be9-45bd-83e2-0a25463fa8cc
名前 / ファイル ライセンス アクション
KKC0036_017_36-32.pdf KKC0036_017_36-32 (204.4 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2021-11-25
タイトル
タイトル 膜厚ムラ検査装置の開発 : 連続角度画像を利用した膜厚測定法
言語 ja
タイトル
タイトル マクアツ ムラ ケンサ ソウチ ノ カイハツ : レンゾク カクド ガゾウ オ リヨウ シタ マクアツ ソクテイホウ
言語 ja-Kana
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 久保田, 弘

× 久保田, 弘

ja 久保田, 弘

ja-Kana クボタ, ヒロシ

en Kubota, Hiroshi

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中田, 明良

× 中田, 明良

ja 中田, 明良

ja-Kana ナカダ, アキラ

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羽山, 隆史

× 羽山, 隆史

ja 羽山, 隆史

ja-Kana ハヤマ, タカフミ

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苑田, 忠靖

× 苑田, 忠靖

ja 苑田, 忠靖

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書誌情報 ja : 工学研究機器センター報告

巻 36, p. 17-17, 発行年 2003
ISSN
収録物識別子 0289-694X
NCID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA11333838
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 507
出版者
出版者 熊本大学工学部附属工学研究機器センター
言語 ja
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Ver.1 2023-06-19 12:03:04.767919
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