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アイテム
スピンフリー塗布方法におけるレジスト膜厚プロファイルの最適化
http://hdl.handle.net/2298/00044294
http://hdl.handle.net/2298/00044294eec2af9c-522c-49b8-b8e9-41e1ae4a5173
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0036_018_36-35 (168.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-11-25 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スピンフリー塗布方法におけるレジスト膜厚プロファイルの最適化 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 森川, 晃次× 坂本, 賢太郎 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 36, p. 18-18, 発行年 2003 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | スピンフリー トフ ホウホウ ニオケル レジスト マクアツ プロファイル ノ サイテキカ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
