WEKO3
アイテム
誘導結合型プラズマエッチング装置を用いた高アスペクト比SiO₂コンタクトホールの形成
http://hdl.handle.net/2298/00044347
http://hdl.handle.net/2298/00044347cbbf01fa-3bc9-4017-b235-1bb15d9e9e28
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0035_010_35-14 (763.7 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-12-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 誘導結合型プラズマエッチング装置を用いた高アスペクト比SiO₂コンタクトホールの形成 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 木原, 健雄 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 35, p. 10-10, 発行年 2003-03-25 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | ユウドウ ケツゴウガタ プラズマ エッチング ソウチ オ モチイタ コウ アスペクトヒ SiO₂ コンタクト ホール ノ ケイセイ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
