WEKO3
アイテム
イオンビームスパッタリング法と窒素イオン照射を用いた窒化タングステン膜の成膜
http://hdl.handle.net/2298/00044348
http://hdl.handle.net/2298/000443486dd81a5a-035c-489f-ae0e-0ebb9ca63596
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0035_011_35-15 (243.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-12-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | イオンビームスパッタリング法と窒素イオン照射を用いた窒化タングステン膜の成膜 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 中田, 明良× 林, 直毅 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 35, p. 11-11, 発行年 2003-03-25 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | イオン ビーム スパッタリングホウ ト チッソ イオン ショウシャ オ モチイタ チッカ タングステンマク ノ セイマク | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
