WEKO3
アイテム
非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第５報) 与圧機構の開発
http://hdl.handle.net/2298/00044361
http://hdl.handle.net/2298/00044361e972caa3-6bd2-4b7b-b5fb-7c21fcddc6cd
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0035_021_35-29 (1.2 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-12-02 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第５報) 与圧機構の開発 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ヒキョウシンガタ チョウオンパ モータ クドウ チョウセイミツ ステージ ノ カイハツ : ダイ５ホウ ヨアツ キコウ ノ カイハツ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 遠藤, 泰史
× 橘口, 弘幸
× 江頭, 義也
× 永本, 恵市
× 小坂, 光二
× 岩渕, 哲也
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 35, p. 21-21, 発行年 2003-03-25 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
