WEKO3
アイテム
新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立
http://hdl.handle.net/2298/11589
http://hdl.handle.net/2298/11589f39592c7-654d-4ef5-b466-9d112bb7db45
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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24-0277.pdf (23.6 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-12-02 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | シンコウソク アツデン アクチュエータ ノ チョウセイミツ ハンドウタイ プロセス エノ オウヨウ ト ゲンシ スケール セイサン ギジュツ ノ カクリツ | |||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題 | 非共振型超音波モータ, 共振型超音波モータ, 高剛性ステージ, 摩耗 NRUSM |
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| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||||||
| 著者 |
小坂, 光二
× 小坂, 光二
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| 内容記述 | ||||||||||||
| 内容記述 | 研究の主目的は、NRUSMの産業応用を目指した取り組みであり、単体性能追求だけにとどまらず、その成果を実用化する際に必要となる全ての項目を含めた総合研究開発として取り組んできた。 | |||||||||||
| 書誌情報 |
発行年 2005-09-26 |
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| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||
| 主題 | 377.5 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 学位名 | ||||||||||||
| 学位名 | 博士（工学）(ja) | |||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||
| 学位授与機関名 | 熊本大学 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2005-09-26 | |||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第277号 | |||||||||||
| 学位番号 | ||||||||||||
| 値 | 甲博工第277号 | |||||||||||
