WEKO3
アイテム
新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立
http://hdl.handle.net/2298/11589
http://hdl.handle.net/2298/11589f39592c7-654d-4ef5-b466-9d112bb7db45
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
24-0277.pdf (23.6 MB)
|
|
| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-12-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | 非共振型超音波モータ, 共振型超音波モータ, 高剛性ステージ, NRUSM, 摩耗 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
小坂, 光二
× 小坂, 光二 |
|||||
| 別言語の著者 |
小坂, 光二
× 小坂, 光二 |
|||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述 | 研究の主目的は、NRUSMの産業応用を目指した取り組みであり、単体性能追求だけにとどまらず、その成果を実用化する際に必要となる全ての項目を含めた総合研究開発として取り組んできた。 | |||||
| 書誌情報 | 発行年 2005-09-26 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 23639797 bytes | ||||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題 | 377.5 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | シンコウソク アツデン アクチュエータ ノ チョウセイミツ ハンドウタイ プロセス エノ オウヨウ ト ゲンシ スケール セイサン ギジュツ ノ カクリツ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述 | 学位論文(Thesis) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 博士論文 | ||||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| Thesis or Dissertation | ||||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| text | ||||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 03 | ||||||
| 学位番号 | ||||||
| 甲博工第277号 | ||||||
