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アイテム
超精密高速位置決めステージの高耐久性化に関する研究
http://hdl.handle.net/2298/00044182
http://hdl.handle.net/2298/00044182e00147d9-fc01-48d5-872b-a79beff72c7d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0038_021_38-25 (517.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-11-09 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 超精密高速位置決めステージの高耐久性化に関する研究 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | チョウセイミツ コウソク イチ ギメ ステージ ノ コウタイキュウセイカ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 永原, 聡
× 小坂, 光二
× 遠藤, 泰史
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 38, p. 21-21, 発行年 2006 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
