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半導体量産工場で発生する不良解析に関する研究 : 半導体製造ラインにおける低圧CVD膜の膜特性ばらつきの検証
http://hdl.handle.net/2298/00044196
http://hdl.handle.net/2298/00044196fdea8512-98b9-4ee2-9114-d3cc83d3da09
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0038_042_38-39 (455.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2021-11-10 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 半導体量産工場で発生する不良解析に関する研究 : 半導体製造ラインにおける低圧CVD膜の膜特性ばらつきの検証 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘× 田北, 進哉 |
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| 書誌情報 |
工学研究機器センター報告 巻 38, p. 42-42, 発行年 2006 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 0289694X | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 507 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | ハンドウタイ リョウサン コウジョウ デ ハッセイ スル フリョウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ : ハンドウタイ セイゾウ ライン ニオケル テイアツ CVD マク ノ マクトクセイ バラツキ ノ ケンショウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||
